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单工位(图)-点***旋转喷淋清洗机-聊城旋转喷淋清洗机

发布时间:2020-07-06 05:59:29        

检查所有***、清洗剂浓度是否正确:确保清洗剂及其他***容器内的余量充足,确保输送分配管道正确连接到对应的容器。 ? 观察清洗机总体情况:舱体内表面应清洁,无污点、水垢及其它污染物堆积。这些都可能影响清洗机的性能和清洗效果。污点和水垢可能表明有水质、***浓度过高等问题。确保任何适用的垫圈、密封圈、记录器都处于正常状态。











此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短,单槽旋转喷淋清洗机,对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学***很少,聊城旋转喷淋清洗机,对控制成本及环境保护有利。

随着集成电路制程工艺节点越来越***,对实际制造的几个环节也提出了新要求,旋转式高压喷淋清洗机,清洗环节的重要性日益凸显。

清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小,半导体对杂质含量越来越敏感,而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响,实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率,还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗,清洗步骤约占整体步骤的33%。







旋转喷淋清洗机简介

3.清洗工艺流程

3.1清洗机动作描述:工件经工人装入清洗机入清洗腔→关闭密封门→双手按下启动按钮→喷淋管开始工作→工作转台360度旋转。)→清洗结束后管道自动切换到吹气系统→对工件进行脉冲状的切水处理→切水结束后密封门打开→人工下料

适用:该设备适用于汽车、工程机械、航空航天等行业的各类结构复杂五金零件、油泵阀体清洗。








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